硅基光纤温度传感器研究

作     者：葛益娴 王鸣 李明 王婷婷 GE Yi-xian;WANG Ming;LI Ming;WANG Ting-ting

作者机构：南京师范大学物理科学与技术学院光电技术省重点实验室南京210097 

基　　金：江苏省高技术研究计划项目资助(BG2003024) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2007年第20卷第5期

页      码：1017-1020页

摘      要：基于单晶硅折射率随温度变化的热光效应,研究了一种硅基双波长光纤温度传感器.理论分析了单晶硅膜温度传感的机理,通过计算得到了硅膜厚度与温度测量范围之间的关系.运用双波长信号处理方法对传感器反射光强度进行分析并解调出所测量的温度.实验结果表明,在测温范围25～45℃内,当传感器测温波长为1534.3nm、1554.3nm时,该传感器对温度的响应具有良好的线性,其线性拟合度达0.9898.该温度传感器的研究对设计制作温度补偿型的硅基压力或其它物理量的测量传感器具有一定的参考价值.

主 题 词：传感器技术 温度传感器 单晶硅膜 热光效应 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2007.05.015

馆 藏 号：203162379...