紫外衍射微透镜阵列的设计与制备

作     者：张伟 李毅 张虎 黄毅泽 朱慧群 孙若曦 ZHANG Wei;LI Yi;ZHANG Hu;HUANG Yi-ze;ZHU Hui-qun;SUN Ruo-xi

作者机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200093 上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室上海200093 五邑大学薄膜与纳米材料研究所江门529020 

基　　金：国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2006AA03Z348) 上海市重点学科建设资助项目(S30502) 上海市人才发展基金资助计划(2009014) 上海市教育委员会科学技术研究重点项目(10ZZ94) 

出 版 物：《上海理工大学学报》 (Journal of University of Shanghai For Science and Technology)

年 卷 期：2011年第32卷第2期

页      码：174-178页

摘      要：通过研究互相关联的光学和工艺参数,用标量衍射理论设计了用于128×1日盲型紫外探测器的衍射微透镜阵列,其工作中心波长为400 nm,单元透镜F数为f/5,f为焦距.采用组合多层镀膜和剥离的工艺方法制备微透镜阵列,对工艺流程和制备误差进行了分析,对制备出的128×1的衍射微透镜阵列的光学性能进行测量和分析.实验结果表明,衍射微透镜阵列的衍射效率为87%.制备误差主要来自对准误差和线宽误差.紫外衍射微透镜阵列的整体性能满足了微透镜阵列与紫外焦平面阵列的单片集成要求.

主 题 词：紫外 微透镜阵列 菲涅尔波带片 组合多层镀膜与剥离 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-6735.2011.02.012

馆 藏 号：203164572...