Apogee推出新型全硅压力传感器

出 版 物：《电气技术》 (Electrical Engineering)

年 卷 期：2005年第6卷第8期

页      码：21-21页

摘      要：Apogee Technology公司推出Sensilica系列“全硅”压力传感器。与现有产品相比,该公司的第一款MEMS产品在尺寸、成本、性能和可靠性上均具有相当的优势。此外,Apogee公司还计划在年内推出六款新的Sensilica产品以满足工业、消费、汽车、医疗和HVAC等领域对压力传感器的需求。

主 题 词：硅压力传感器 传感器结构 现有产品 可靠性 推出 成本 公司 优势 新型 设计方法 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203164826...