双光栅尺在高速高精度位移测量中的应用

作     者：殷庆纵 刘杰 YIN Qingzong;LIU Jie

作者机构：苏州工业职业技术学院电子工程系江苏苏州215104 苏州印像镭射有限公司江苏苏州215004 

出 版 物：《机床与液压》 (Machine Tool & Hydraulics)

年 卷 期：2012年第40卷第17期

页      码：107-111页

摘      要：由于光栅尺本身结构上的原因,采用单一光栅尺难以实现高速高精度的微纳米测量。设计一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量仪,通过可编程逻辑器件FPGA对粗、精光栅尺信号进行切换与合成,实现了高速高分辨率的位移测量。实验结果表明:在光栅尺运动速度大于1.2 m/s时,采用此方法可达到10 nm分辨率。它在高速高精度和大量程的直线位移测量领域具有广泛的应用前景。

主 题 词：双光栅尺 高速高精度位移测量 FPGA 切换与合成 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3881.2012.17.032

馆 藏 号：203165290...