平面电极型MEMS电化学地震传感器

作     者：王军波 龚黎明 陈德勇 何文涛 王鹏 陈健 

作者机构：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100190 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2013YQ12035703) 国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2014AA091508) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2015年第23卷第3期

页      码：769-775页

摘      要：针对传统电化学地震传感器的加工工艺成本高、一致性差等问题,设计了一种新的平面电极型微机电系统(MEMS)电化学地震传感器结构。建立了平面电极型MEMS电化学地震传感器的计算模型,通过Comsol多场耦合数值模拟分析方法,对影响传感器的结构参数如:电极宽度、电极间距、流道高度等进行了计算和优化。采用MEMS表面工艺和准LIGA工艺,制备了平面电极型MEMS电化学地震传感器。最后,与采用传统方法精密加工的MET2003器件进行了频率响应和微震动的对比测试。实验结果表明:与MET2003器件相比,平面电极型MEMS电化学地震传感器的带宽从1Hz扩展到了30Hz,两种器件的采集结果具有很好的相关性和一致性,相关系数为0.887,在1Hz处的噪声低于120dB。

主 题 词：微机电系统 电化学地震传感器 平面电极 低频震动检测 

学科分类：070801[070801] 07[理学] 080202[080202] 08[工学] 0708[理学-地球物理学类] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/ope.20152303.0769

馆 藏 号：203166513...