基于MEMS的电容式传感器信号调理电路设计

作     者：官泳华 GUAN Yonghua

作者机构：四川职业技术学院电子电气工程系四川遂宁629000 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2016年第39卷第3期

页      码：551-557页

摘      要：为了提高MEMS(Micro-electro-mechanical Systems)微机电系统电容式传感器测量低电容的灵敏度,提出了一种MEMS电容式传感器调理电路,并采用绝缘硅片(SOI)MEMS电容式加速度传感器组成了完整的电容测量系统。该信号调理电路采用了一组片上电容阵列用以抵消电容结构的失配。并且采用可调的方形波发生器来调谐系统的灵敏性,以此弥补电子装置制成后产生的变化。电路采用0.18-mm CMOS技术设计并制成,测量结果显示,提出的测量系统能够准确测量到MEMS传感器的电容变化以及加速度,证明了信号调理电路的正确性和精确性。

主 题 词：电容测量 微机电系统 信号调理电路 电容阵列 

学科分类：0810[工学-土木类] 080202[080202] 08[工学] 081001[081001] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2016.03.011

馆 藏 号：203167650...