振动环境下MEMS加速度计的可靠性评估

作     者：秦丽 王孟美 何蕴泽 于丽霞 刘俊 QIN Li;WANG Mengmei;HE Yuanze;YU Lixia;LIU Jun

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学信息与通信工程学院太原030051 

基　　金：山西省自然科学基金项目(2014011021-5) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2016年第29卷第5期

页      码：670-674页

摘      要：在MEMS加速度计加速寿命试验及加速性能退化试验研究的基础上,对MEMS加速度计在振动环境下的可靠性技术进行了研究。通过理论分析MEMS加速度计在振动环境下的失效模式和失效机理,结合具体的试验条件设计了加速度计加速寿命试验及加速性能退化试验方案,并对MEMS加速度计在振动环境下的失效数据分别进行了加速寿命可靠性评估及加速性能退化可靠性评估。研究表明,两种评估方法得到的评估结果基本一致;加速性能退化评估方法适用于MEMS加速度计在振动环境中的可靠性研究,且该方法简捷、正确可行、节省试验费用,为MEMS加速度计在实际应用中提供了重要的参考依据。

主 题 词：MEMS加速度计 加速寿命试验 加速性能退化试验 可靠性评估 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2016.05.008

馆 藏 号：203170515...