基于SOI的16通道200GHz阵列波导光栅

作     者：袁配 吴远大 王玥 安俊明 胡雄伟 YUAN Pei;WU Yuanda;WANG Yue;AN Junming;HU Xiongwei

作者机构：河南仕佳光子科技有限公司河南鹤壁458030 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室北京100083 

基　　金：国家"863"计划项目(2013AA031402) 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2016年第37卷第3期

页      码：313-317,326页

摘      要：设计并制作了基于绝缘体上硅（SOI）材料的1×16阵列波导光栅（AWG）。该AWG器件的中心波长为1 550nm,信道间隔为200GHz,采用了脊型波导结构。首先确定了波导的结构尺寸以保证单模传输,并利用束传播法（BPM）模拟了波导间隔、弯曲半径和锥形波导长度等参数对器件性能的影响,对器件结构进行了优化,同时也利用BPM方法模拟了器件的传输谱。模拟结果显示：器件的最小信道损耗为4.64dB,串扰小于-30dB。根据优化的器件结构,通过光刻等半导体工艺制作了AWG,经测试得到AWG器件的损耗为4.52～8.1dB,串扰为17～20dB,能够实现良好的波分复用/解复用功能。

主 题 词：阵列波导光栅 波分复用 绝缘体上硅 单片集成 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.16818/j.issn1001-5868.2016.03.003

馆 藏 号：203170735...