一种基于LabVIEW的相位法PSD微位移测量系统设计

作     者：吴腾蛟 薛联 段莹 席锋 秦岚 WU Teng-jiao;XUE Lian;DUAN Ying;XI Feng;QIN Lan

作者机构：重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 

基　　金：重庆市自然科学基金资助项目(CSTC 2009BB3363) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2011年第30卷第12期

页      码：116-118页

摘      要：基于相位法的位置敏感探测器(PSD)检测技术较之幅值法具有处理电路简单、检测精度高、抗干扰能力强、环境适应性好等优点。利用二维双面分流型PSD和LabVIEW虚拟仪器平台,实现了基于相位法的PSD微位移测量系统的设计。实验表明:PSD输出信号的相位差和光斑位置具有良好的线性关系,非线性误差小于0.1%。

主 题 词：位置敏感探测器 相位法 LabVIEW 虚拟仪器 微位移测量 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2011.12.035

馆 藏 号：203170849...