热声焊机超声系统的设计和优化

作     者：马生生 孙丽娜 井文丽 Ma Sheng-sheng;Sun Li-na;Jing Wen-li

作者机构：中国电子科技集团公司第二研究所山西太原030024 

出 版 物：《电子工业专用设备》 (Equipment for Electronic Products Manufacturing)

年 卷 期：2011年第40卷第5期

页      码：48-51页

摘      要：热声焊机是微电子封装领域的关键设备,其超声系统性能的优劣直接影响着键合质量和键合速度。简要介绍超声系统各组成部件在设计中所可能受到的影响因素,以及系统整体如何协调,使之到达最佳匹配,从而提高设备的键合质量和键合速度。

主 题 词：热声焊机 超声系统 键合质量 键合速度 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081001[081001] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-4507.2011.05.011

馆 藏 号：203170988...