气体静压轴承设计及关键零件加工工艺研究

作     者：管峰 李圣怡 关朝亮 铁贵鹏 Guan Feng;Li Shengyi;Guan Chaoliang;Tie Guipeng

作者机构：国防科学技术大学机电工程与自动化学院长沙410073 超精密加工技术湖南省重点实验室长沙410073 

基　　金：应用光学国家重点实验室开放基金项目(Y2Q03FQK06)资助 

出 版 物：《机械科学与技术》 (Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering)

年 卷 期：2016年第35卷第7期

页      码：1083-1088页

摘      要：气体静压主轴广泛地应用于精密、超精密机床设备中,其核心零件的加工精度是主轴性能优劣的重要影响因素。本文以自主设计的气体静压止推轴承为例,分析了典型制造误差对轴承承载力及刚度等性能的影响,以误差分析结果为基础给出静止推板的设计精度。对于亚微米精度要求的静止推板,针对其装夹微变形问题,提出了变形误差补偿车削原理,即在机床上按吸附变形误差的反误差进行加工,使静止推板在去除真空吸附后的自由状态下能达到高的面形精度。对188 mm的静止推板圆环面进行了补偿加工实验,面形误差快速收敛到1μm以下,达到了高精度的加工要求。

主 题 词：气体静压止推轴承 误差分析 吸附变形 补偿车削 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.13433/j.cnki.1003-8728.2016.0716

馆 藏 号：203172277...