流量传感器中敏感薄膜电阻制备及其特性分析

作     者：齐虹 李玉玲 王晓光 张岩 寇文兵 QI Hong;LI Yu-ling;WANG Xiao-guang;ZHANG Yan;KOU Wen-bing

作者机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所黑龙江哈尔滨150001 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2016年第5期

页      码：12-14页

摘      要：通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具有良好稳定性和一致性的敏感薄膜电阻,满足流量传感器的使用要求。使流量传感器重复性可达±1%,该制备方法适用于热膜式流量传感器的小批量生产。

主 题 词：流量传感器 敏感薄膜电阻 温度系数 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2016.05.004

馆 藏 号：203172498...