高线性度全差分四阶ΣΔ微加速度计接口ASIC

作     者：刘云涛 赵双 邵雷 LIU Yuntao;ZHAO Shuang;SHAO Lei

作者机构：哈尔滨工程大学信息与通信工程学院哈尔滨150001 

基　　金：国家自然科学基金项目(61306142) 黑龙江省自然科学基金项目(QC2014068) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2016年第29卷第6期

页      码：880-885页

摘      要：为了降低电容式Sigma-Delta(ΣΔ)微机械(MEMS)加速度计的量化噪声,减小开关电荷注入和衬底噪声共模干扰,减小谐波失真,设计了一种全差分四阶ΣΔ加速度计的接口专用集成电路(ASIC)。提出了一种简单、有效的全桥平衡结构,减小了驱动信号变化时,运放输入共模的变化对电路的干扰;提出了双侧反馈结构,大大提高了系统线性度。设计完成了电荷积分器、全差分前置补偿电路、二阶积分器等电路。采用0.5μm两层金属两层多晶n阱CMOS工艺流片,测试结果显示:闭环系统噪声密度为75μg/Hz^(1/2),系统灵敏度为1.32 V/gn,非线性度0.085%,功耗40 m W。结果显示本次设计满足微加速度计接口电路的设计要求。

主 题 词：微加速度计 高线性度 全差分 sigma-delta 

学科分类：08[工学] 081101[081101] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2016.06.015

馆 藏 号：203172498...