微电子机械加工研究

作     者：蒋世祥 朱世强 黄文胜 Jiang Shi-xiang;ZHU Shi-qiang;Huang Wen-sheng

作者机构：浙江省水利水电专科学院浙江杭州310016 浙江大学机械电子控制工程研究所浙江杭州310027 浙江国际商会实业有限责任公司浙江杭州310006 

基　　金：浙江省自然科学基金资助!(资助号 5 990 19) 

出 版 物：《微电子技术》 (Microelectronic Technology)

年 卷 期：2001年第29卷第2期

页      码：3-7页

摘      要：本文介绍了微电子机械制造工艺的基本要求 ,尺寸极限。并且设计了一个 3D集成式微结构制造系统。该系统是在旋转工作台面上 ,用快速中子原子束刻蚀来实现 3D成形。

主 题 词：微电子机械制造 原子束刻蚀 微结构制造系统 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

馆 藏 号：203172843...