基于CAM的STM和AFM的一种过载保护装置研究

作     者：张振宇 李鸿琦 刘美华 周红秀 Zhang Zhenyu;Li Hongqi;Liu Meihua;ZHOU Hongxiu

作者机构：天津大学机械学院力学系天津300072 天津大学燃烧学国家重点实验室 

基　　金：天南大共建纳米研究中心资助项目 

出 版 物：《制造技术与机床》 (Manufacturing Technology & Machine Tool)

年 卷 期：2005年第1期

页      码：53-54页

摘      要：根据STM和AFM的扫描原理 ,通过CAM设计了一种过载保护装置 ,使STM和AFM在测试过程中 ,对超过测试高度的样品停止退针 ,以免损坏仪器 ,弥补了仪器设计的不足。

主 题 词：CAM 过载保护装置 原子力显微镜 扫描隧道显微镜 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-2402.2005.01.018

馆 藏 号：203173642...