慢波结构加工精度对太赫兹表面波振荡器的性能影响

作     者：王光强 王建国 陆希成 李爽 曾鹏 Wang Guangqiang;Wang Jianguo;Lu Xicheng;Li Shuang;Zeng Peng

作者机构：西北核技术研究所西安710024 高功率微波技术重点实验室西安710024 

基　　金：国家高技术研究发展计划资助项目 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2015年第35卷第9期

页      码：1059-1063页

摘      要：随着频率的升高,慢波真空电子器件中慢波结构的尺寸迅速缩小。为给太赫兹波段器件的设计和加工提供指导,研究了慢波结构加工精度对0.34 THz过模表面波振荡器的性能影响。采用小信号理论和自行研制的全电磁粒子模拟软件UNIPIC,模拟分析了矩形波纹慢波结构的周期、深度和宽度等参数在设计值附近变化时,热腔色散曲线和输出脉冲的频率、功率、起振时间及脉宽等关键参数的变化。结果表明:器件工作点对慢波结构的尺寸精度比较敏感,使得输出太赫兹脉冲的特征产生较大波动;10%的深度和周期公差将导致器件没有输出,宽度则容许近20%的加工公差。最后采用微细电火花工艺给出了不锈钢慢波结构的加工实例,并讨论了提高慢波结构加工精度的方法。

主 题 词：慢波结构 太赫兹 过模 加工精度 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2015.09.05

馆 藏 号：203173652...