VO_2/FTO复合薄膜的制备及其光电特性研究

作     者：郑鸿柱 李毅 陈少娟 陈建坤 袁文瑞 孙瑶 唐佳茵 刘飞 郝如龙 方宝英 肖寒 王晓华 

作者机构：上海理工大学上海200093 上海市现代光学系统重点实验室上海200093 上海电力学院上海200090 

基　　金：国家"863"计划(2006AA03Z348) 教育部科学技术研究重点项目(207033) 上海市科学技术委员会科技攻关计划(06DZ11415) 上海市教育委员会科技创新重点项目(10ZZ94) 上海市领军人才计划资助课题 区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室项目 

出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)

年 卷 期：2016年第45卷第6期

页      码：1593-1599页

摘      要：采用直流磁控溅射法在掺氟的SnO_2(FTO)导电玻璃衬底上沉积纯钒金属薄膜,再在常压氮氧混合气氛中退火制备VO_2/FTO复合热致变色薄膜,并对复合薄膜的结构、光学特性以及电学特性进行了测试分析。结果表明,薄膜结晶程度较高,表面平滑致密,具有很好的一致性,导电玻璃上的FTO并没有改变VO_2择优取向生长,但明显改变了VO_2薄膜的表面形貌特征。与VO_2薄膜的典型相变温度68℃相比,VO_2/FTO复合薄膜的相变温度降低约20℃,热滞回线收窄到5℃,相变前后的红外透过率分别为45%和22%,相变前后电阻率的变化达3个数量级,VO_2/FTO复合薄膜优良的光电特性对新型光电薄膜器件的设计开发和应用具有重要意义。

主 题 词：VO2 FTO 氮氧混合 热致变色 光电特性 

学科分类：07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203174483...