OHS运输系统对VLSI厂房微振动影响分析方法

作     者：胡明祎 娄宇 聂建国 陈骝 窦硕 黄伟 HU Ming-yi;LOU Yu;NIE Jian-guo;CHEN Liu;DOU Shuo;HUANG Wei

作者机构：中国电子工程设计院北京100142 北京市微振动环境控制工程技术研究中心北京150080 清华大学土木水利学院北京100084 合肥工业大学土木与水利工程学院安徽合肥230009 土木工程结构与材料安徽省重点实验室安徽合肥230009 

基　　金：北京市科学技术委员会资助项目(Z131101002813083) 

出 版 物：《合肥工业大学学报（自然科学版）》 (Journal of Hefei University of Technology：Natural Science)

年 卷 期：2016年第39卷第6期

页      码：812-817页

摘      要：OHS运输系统是超大规模集成电路(VLSI)制造工业环境中洁净工艺系统中的重要组成部分,但是由于工业厂房的结构复杂且分布着较为密集的精密设备,OHS运输过程产生的微振动会对生产造成危害,因此需要建立合理有效的微振动控制分析方法辅助工程设计。文章基于该类工程微振动传递线性特征,利用工程实测数据,建立了振动能量封闭体简化分析模型,提出基于传递函数相似性的OHS系统微振动影响控制分析方法,并利用实际工程对该方法进行了应用说明。分析结果表明:该方法实施简单且符合现阶段工程应用需求,为OHS系统振动影响提供了合理可靠的分析手段。

主 题 词：OHS 运输系统 超大规模集成电路 厂房 微振动影响 

学科分类：08[工学] 081402[081402] 081304[081304] 0813[工学-化工与制药类] 0814[工学-地质类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-5060.2016.06.019

馆 藏 号：203177345...