微电铸及其在MEMS中的应用

作     者：吕文龙 陈义华 孙道恒 LV Wen-long;CHEN Yi-hua;SUN Dao-heng

作者机构：厦门大学机电工程系福建厦门361005 

基　　金：福建省自然科学基金(A0110003) 福建省科技计划重点项目(2002H022)资助 

出 版 物：《厦门大学学报（自然科学版）》 (Journal of Xiamen University：Natural Science)

年 卷 期：2005年第44卷第B6期

页      码：316-318页

摘      要：研究了微电铸在MEMS结构层制造工艺中的可行性并搭建了微电铸实验系统,通过对不同Watts镍电解液的成分实验得到了一组性能较好的成分配比.通过晶种层材料的实验得出TiCu作为晶种层材料的优点.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等,得到了一组比较有价值的电铸参数,并对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.

主 题 词：微电铸 应用 MEMS结构 实验系统 制造工艺 成分配比 镍电解液 脉冲电铸 设计要求 悬臂梁 结构层 陀螺仪 微机械 材料 晶种 驱动 方波 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0438-0479.2005.z1.076

馆 藏 号：203177837...