一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计

作     者：杨梅 韩翔 林川力 陈兢 YANG Mei;HAN Xiang;LIN Chuan-li;CHEN Jing

作者机构：北京大学微电子研究所北京100871 北京大学物理学院北京100871 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2006年第4卷第4期

页      码：326-330页

摘      要：提出了一种利用静电力制动扭转梁带动微镜旋转,从而实现二维开关功能的MEMS光开关.使用ANSYS和COVENTOR软件对器件结构进行了模态、静态和瞬态分析,并对微镜制动梳齿的位置、器件的尺寸和扭转梁结构进行了优化.通过在微镜下方设计大空腔实现微镜90°的大角度扭转,使用新型衬底梳齿和结合扭转梁设计实现高静电制动效率,将制动电压降至18V.引入背面梳齿提高开关响应速度,模拟结果表明,光开关具有毫秒量级响应时间.与其他设计相比,该设计的微镜具有扭转角度大、制动效率高且开关速度较快的优点.

主 题 词：MEMS光开关 扭转梁 微镜 制动电压 开关时间 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2006.04.016

馆 藏 号：203178324...