空间谐振式MOEMS陀螺致动器研究

作     者：林恒 单志刚 王广龙 刘惠兰 冯丽爽 

作者机构：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院北京100083 

出 版 物：《航空精密制造技术》 (Aviation Precision Manufacturing Technology)

年 卷 期：2007年第43卷第5期

页      码：10-13页

摘      要：研究并设计了一种新型的可应用于微光机电(MOEMS)陀螺的微位移及角度控制致动器。它包括高灵敏度压电陶瓷组件和控制电路,具有对微镜进行微米级位移和角秒级角度精确定位的功能。建立并完成了该致动器的结构模型和有限元仿真,提出了基于MOEMS技术的加工方法。

主 题 词：致动器 精确定位 仿真 压电陶瓷 微光机电系统 陀螺 

学科分类：08[工学] 0825[工学-环境科学与工程类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-5451.2007.05.003

馆 藏 号：203179057...