基于MCGS和MATLAB的薄膜厚度控制系统仿真

作     者：李杨帆 蒋品群 李廷会 隆媛媛 LI Yang-fan;JIANG Pin-qun;LI Ting-hui;LONG Yuan-yuan

作者机构：广西师范大学电子工程学院广西桂林541004 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10947011) 广西教育厅科研项目(200608MS133) 广西高校重点建设实验室项目(200912) 

出 版 物：《广西师范大学学报（自然科学版）》 (Journal of Guangxi Normal University:Natural Science Edition)

年 卷 期：2010年第28卷第2期

页      码：18-21页

摘      要：以MCGS组态软件和MATLAB为平台,设计和仿真了一个薄膜厚度控制系统。MCGS完成硬件接口的设置、数据的实时采集、人机对话、以动画的方式显示控制系统的运行情况,MATLAB完成PID参数的自动整定,并利用动态数据交换(DDE)技术建立两者间的通讯。仿真结果表明,本控制系统超调量小、响应速度快、自适应能力强,而且操作方便、显示直观,具有较大的应用价值。

主 题 词：薄膜厚度控制,MCGS MATLAB BP神经网络 DDE协议 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-6600.2010.02.005

馆 藏 号：203179656...