MEMS微加速度与微角速率集成传感器的研制

作     者：吕树海 杨拥军 徐淑静 张旭辉 Lü Shuhai;Yang Yongjun;Xu Shujing;Zhang Xuhui

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究石家庄050051 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2011年第48卷第3期

页      码：189-193页

摘      要：介绍了一种全新的MEMS微型惯性器件,该器件是一种基于热对流原理的热膜式传感器,它利用一个单敏感元件同时测量加速度和角速率。该器件由一个加热器和两组微型温度传感器组成,加热器加热气体形成的热对流气体作为敏感元件,该器件通过微型温度传感器测得的热对流气体的温度差实现加速度和角速率的测量。分析了器件的工作原理,根据仿真结果设计了双层的器件结构,进行了工艺开发,加工出了原理样机。测试表明:该器件同时具备了加速度传感器和角速率传感器的检测功能,很好地验证了设计的可行性。

主 题 词：微电子机械系统(MEMS) 温度传感器 加速度 角速率 热对流 

学科分类：08[工学] 080202[080202] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2011.03.011

馆 藏 号：203179921...