InP基16通道200GHz阵列波导光栅的设计和制备

作     者：赵建宜 陈鑫 钱坤 张玓 王磊 周宁 黄晓东 刘文 

作者机构：华中科技大学武汉光电国家实验室光学与电子信息学院湖北武汉430074 光迅科技股份有限公司湖北武汉430074 武汉邮电科学研究院光纤通信技术和网络国家重点实验室湖北武汉430074 

基　　金：国家973计划(2010CB327603)资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2013年第33卷第6期

页      码：45-50页

摘      要：设计制作了一种适合单片光子集成回路的InP基16通道,200GHz通道间隔的阵列波导光栅(AWG)器件。采用偏振无关的深脊型波导以减小器件尺寸,提高光电子芯片的集成度。利用金属有机化学气相沉积(MOCVD),光刻及感应耦合反应离子束(ICP)刻蚀技术,成功研制出芯片样品。测试结果显示,器件插入损耗约-10dB,相邻通道串扰小于-15dB。

主 题 词：光学器件 磷化铟 阵列波导光栅 波分复用器 单片光子集成 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos201333.0605002

馆 藏 号：203181048...