用于太赫兹频段的矩形波导腔加工工艺

作     者：孙玉洁 段俊萍 寇海荣 张斌珍 Sun Yujie;Duan Junping;Kou Hairong;Zhang Binzhen

作者机构：中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61401405 51475438) 山西省基础研究资助项目(2014011021-4) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2016年第53卷第7期

页      码：473-477页

摘      要：介绍了一种用于太赫兹频段的矩形波导腔的设计和加工工艺。利用Comsol Multiphysics软件对射频器件中心频率为0.4 THz时,横电波(TE10波)在矩形波导腔中的传播进行了仿真。仿真结果表明,波导口尺寸设计为0.56 mm×0.3 mm时,电磁波在该波导中的传输损耗较小,插入损耗S21接近-1 dB,回波损耗S11小于-30 dB。该结构利用牺牲层技术制备。采用SU-8环氧基负性光刻胶作为介质层,低转速多次旋涂AZ50XT形成牺牲层结构,制备出矩形波导腔结构。该波导腔结构内壁表面平整,侧壁垂直度为87.7°,上层结构和侧壁之间结合紧密,为实现波导腔结构的加工提供了一种新的途径。

主 题 词：太赫兹(THz) 牺牲层 矩形波导腔 AZ50XT SU-8 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2016.07.009

馆 藏 号：203181972...