流化床-化学气相沉积技术的应用及研究进展

作     者：刘荣正 刘马林 邵友林 刘兵 LIU Rongzheng;LIU Malin;SHAO Youlin;LIU Bing

作者机构：清华大学核能与新能源技术研究院先进核能技术协同创新中心北京100084 

基　　金：国家自然科学基金(21306097,51302148) 高等学校博士点专项科研基金(20121010010)项目 

出 版 物：《化工进展》 (Chemical Industry and Engineering Progress)

年 卷 期：2016年第35卷第5期

页      码：1263-1272页

摘      要：流化床-化学气相沉积(FB-CVD)技术是一种多学科交叉的材料制备技术,兼有流化床传热传质性能良好以及化学气相沉积均匀、产物单一等优点,在工业生产中有着广泛的应用,但因其属于交叉学科,散见于各种研究,没有进行专门的进展评述。本文拟对FB-CVD的工业应用进行专题综述,分析其发展和研究趋势。首先探讨了FB-CVD的基本原理,分别综述了其在颗粒包覆、一维纳米材料、多晶硅制备、颗粒表面改性及粉体制备等方面的应用,介绍了FB-CVD的过程模拟及反应器结构优化方面的研究进展。通过以上讨论,梳理了FB-CVD研究的科学内涵。可以看出,该过程具有明显的多尺度特征,即材料制备的微观层次、颗粒流化均匀性的介观层次以及反应器结构设计的宏观尺度。总结得出:FB-CVD技术的未来发展取决于3个尺度的耦合分析,其研究重点也应关注尺度间的相互影响效应,如材料制备的均相成核、非均相成核和颗粒流化及运动规律的相互耦合等。

主 题 词：流化床-化学气相沉积 材料制备 过程分析 多尺度耦合 

学科分类：0821[工学-兵器类] 0817[工学-轻工类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 081701[081701] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.16085/j.issn.1000-6613.2016.05.001

馆 藏 号：203182366...