干式涡旋真空泵的动平衡工艺与振动品质研究

作     者：丛培田 曹松松 张振厚 王光玉 刘在行 Cong Peitian;Cao Songsong;Zhang Zhenhou;Wang Guangyu;Liu Zaihang

作者机构：沈阳理工大学机械工程学院沈阳110159 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司沈阳110159 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ240421) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2016年第36卷第6期

页      码：613-617页

摘      要：针对干式涡旋真空泵的振动平衡问题,对其工作原理、机械动力学模型、渐开线型线的理论偏心等方面进行了分析。提出相应动平衡设计方法并对核心部件进行三维建模:其中包括动涡旋盘的质心调整,扇叶上下两个扇区厚度差异设计。通过Fluent对涡旋盘进行空气动力学的仿真,设计专用夹具及配重块并进行实验验证,以确定整套的平衡工艺方法。研究结果表明:整机动平衡精度可达0.2 g以下,振动数值由10降到1 mm/s左右,平均用时15 min,减振效果显著,生产效率得到极大提高。

主 题 词：干式涡旋真空泵 配重块 振动 动平衡 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080704[080704] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2016.06.01

馆 藏 号：203183516...