电子束重复曝光加工PCR微通道的工艺研究

作     者：孔祥东 冯圣玉 张玉林 Kong Xiangdong;Feng Shengyu;Zhang Yulin

作者机构：山东大学化学与化工学院济南250100 东营职业学院科研处山东东营257091 山东大学控制科学与工程学院电子束研究所济南250061 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10572078) 山东省博士后择优资助科研项目(200603004) 山东省自然科学基金资助课题(Y2003G03) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2009年第46卷第1期

页      码：41-44页

摘      要：对PCR微流控芯片通道中流体的流动特性进行了分析,发现流体在横截面为圆形的通道中流动时由摩擦引起的等效水头损失及表面张力均小于微矩形通道。以此为依据,将PCR芯片微通道优化设计成圆形通道。在JSM-5CF电子束曝光机上采用束斑尺寸80nm、能量20keV的电子束对1μm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了单次曝光剂量40μC/cm2的8次重复增量扫描曝光实验,显影后得到的PCR芯片微圆通道轮廓清晰,边缘连续光滑。证明了电子束重复增量扫描曝光方式制作PCR微流控芯片微圆通道的可行性。

主 题 词：电子束曝光 重复增量扫描 聚合酶链式反应(PCR)微流控芯片 流体 微通道 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 080902[080902] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2009.01.008

馆 藏 号：203186195...