介电泳操控纳米材料及其在微纳传感器中的应用

作     者：刘伟景 张健 万丽娟 蒋珂玮 吕家云 LIU Wei-jing;ZHANG Jian;WAN Li-juan;JIANG Ke-wei;LV Jia-yun

作者机构：华东师范大学电子系传感技术国家重点实验室上海200062 巢湖学院物理系安徽巢湖238000 

基　　金：国家自然科学基金项目资助(60672002) 上海市浦江人才计划资助(06PJ14037) 传感技术国家重点实验室开放课题支持(基于纳米ZnO技术的高性能气体传感器) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第1期

页      码：17-22页

摘      要：要将纳米结构作为功能元件应用在微纳传感器、纳米电路等系统中,首先要解决材料的定位操作问题。在自行设计的几种电极的基础上,采用介电泳技术对SiO2微纳米材料进行操控,可以实现材料的沿电场方向的排布和电极间的跨接,为解决纳米结构的定位操作做了有益的尝试。初步测试了采用介电泳技术操控自行生长的ZnO纳米结构制作而成的湿度传感器的基本特性并取得很好的响应,表明介电泳技术可以很好得实现纳米材料在传感器领域中的应用。

主 题 词：微纳传感器 介电泳 定位操控 相对湿度 纳米氧化锌 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 070205[070205] 08[工学] 080202[080202] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.01.005

馆 藏 号：203186276...