静电悬浮转子微陀螺高努森数下的空气阻尼力矩

作     者：马高印 陈文元 崔峰 张卫平 王立奇 MA Gao-yin;CHEN Wen-yuan;CUI Feng;ZHANG Wei-ping;WANG Li-qi

作者机构：上海交通大学微纳科学技术研究院、微／纳加工技术国家级重点实验室上海200240 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863)项目资助(2002AA745120) 总装备部武器装备预研基金项目资助(9140A09020706JW0314,9140C7903080807) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第8期

页      码：1362-1365页

摘      要：针对工作于高真空密封腔中的静电悬浮MEMS陀螺微转子,为建立其旋转动力学模型,实现高精度恒速旋转控制,需要得到高努森数条件下的空气阻尼力矩特性。结合复杂结构的轮状扁平微转子,根据分子动理论和Christian模型,推导出压膜阻尼力矩特性;根据稀薄气体动力学,在考虑腔室内壁和转子表面具有不同切向动量适应系数的条件下,推导出滑膜阻尼力矩解析公式。以根据腔内空气流动特征进行的分区直接蒙特卡罗模拟(DSMC)结果为参考,总阻尼力矩系数的解析误差约为16%,表明解析模型具有较好的精度,对于高努森数条件下类似微器件的建模和系统设计具有较高的实用价值。

主 题 词：静电悬浮 微陀螺 旋转 阻尼力矩DSMC 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.08.014

馆 藏 号：203186276...