彩色等效灰度掩模制作方法研究

作     者：罗宁宁 高益庆 谌廷政 漆新民 朱小进 陈劲松 Luo Ningning;Gao Yiqing;Shen Tingzheng;Qi Xinmin;Zhu Xiaojin;Chen Jinsong

作者机构：南昌航空工业学院测控系南昌330034 

基　　金：航空科学基金(04I56010) 江西省自然科学基金(0412027)资助项目 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2005年第34卷第12期

页      码：1778-1782页

摘      要：提出了一种利用彩色等效灰度理论设计掩模的新方法———数据库法.通过选取不同RGB值组合成特定颜色,由彩色胶片输出仪输出这些颜色组成的彩色掩模,获得的彩色胶片掩模用来线性调制曝光量,从而实现二元光学元件台阶深度的线性化.给出了理论计算和16阶菲涅耳透镜的实验结果,证明了数据库方法设计掩模的可行性.该方法的提出为灰度扩展提供了新途径.

主 题 词：衍射光学 彩色等效灰度理论 彩色掩模 彩色胶片输出仪 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

馆 藏 号：203186838...