亚波长金属光栅光刻条纹分布

作     者：米佳佳 张颖 石建平 MI Jiajia;ZHANG Ying;SHI Jianping

作者机构：安徽师范大学物理与电子信息学院安徽芜湖241000 

出 版 物：《淮南师范学院学报》 (Journal of Huainan Normal University)

年 卷 期：2015年第17卷第3期

页      码：32-34页

摘      要：亚波长金属光栅表面等离激元(SPP)具有光场局域增强、异常透射等现象,被广泛用于光刻。利用FDTD Solutions软件,改变金属光栅材料、周期、厚度等因素,通过有限时域差分方法探究表面等离共振光刻条纹分布特点。仿真结果表明,亚波长金属光栅光刻条纹分布周期是光栅的周期一半,光刻条纹强度在表面等离共振波长作用下也会大于入射光强度。该研究为微纳米光学器件的设计提供了依据。

主 题 词：亚波长金属光栅 表面等离子体激元 光刻 有限时域差分方法 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1009-9530.2015.03.010

馆 藏 号：203186997...