多晶硅CVD反应器中新型热管的开发与仿真

作     者：王晓静 马东云 李文艳 张灿 WANG Xiao-jing;MA Dong-yun;LI Wen-yan;ZHANG Can

作者机构：天津大学化工学院天津300354 

基　　金：天津市自然科学基金资助项目(13JCZDJC27200) 

出 版 物：《压力容器》 (Pressure Vessel Technology)

年 卷 期：2016年第33卷第8期

页      码：13-19,26页

摘      要：基于已有的新型多晶硅CVD反应器,设计出有利于获得理想速度场和温度场的特殊热管结构,并对其进行了有限元强度分析和结构改进。对不同壁面发射率和不同壁面温度的热管进行了CFD仿真,计算得出:随着热管壁面温度的升高,多晶硅还原炉内环境温度也随之升高,但是多晶硅棒的总能耗与辐射能耗却随之降低;壁面温度从423 K上升至623 K时,硅棒总能耗和辐射能耗分别下降了2.84%和3.87%;随着发射率的降低,多晶硅还原炉内的环境温度、硅棒总能耗和辐射能耗都呈现下降趋势;硅棒的总能耗和辐射能耗分别下降了21.75%和24.42%。

主 题 词：多晶硅 CVD反应器 热管 有限元 CFD 

学科分类：080706[080706] 080704[080704] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-4837.2016.08.003

馆 藏 号：203187174...