硅基微光学平台的设计和制作

作     者：柳瑞丛 刘媛媛 陈雪 杨富华 Liu Ruicong;Liu Yuanyuan;Chen Xue;Yang Fuhua

作者机构：中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心北京100083 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61275145) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2016年第53卷第9期

页      码：599-604,629页

摘      要：微型的、可重复装配的、硅基的微光学实验平台和操作平台对于实现光学分析仪器的微型化具有重要的研究意义。设计制作了一种硅基的微光学平台,它包含有微光学基板和微光学夹持片。首先采用有限元分析软件Comsol对微光学夹持片的关键结构即弹片进行了应力仿真,确定了弹片在被拉伸过程中断裂时的最大位移,而后在此基础上设计了一种微光学基板和几种微光学夹持片。实验中采用微电子的工艺,通过配合使用电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀和各向异性湿法腐蚀工艺制备了微光学基板和微光学夹持片的样品。最后将二者装配在一起,从而建立起一个硅基的微光学平台。并且,夹持片可以在基板上实现滑动和重复装配。

主 题 词：微光学平台 硅基 微光学夹持片 微光学基板 微型化 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.13250/j.cnki.wndz.2016.09.006

馆 藏 号：203187661...