多晶硅项目设备管道化学清洗的管理技术

作     者：迟学富 周树兴 无

作者机构：云南金吉安建设咨询监理有限公司云南昆明650000 

出 版 物：《有色金属设计》 (Nonferrous Metals Design)

年 卷 期：2016年第43卷第2期

页      码：57-60,63页

摘      要：多晶硅生产对物料管道及生产设备的清洁要求很高,要达到无水、无油、无尘。由于多晶硅生产工艺过程复杂,为保证正常生产,建设过程中物料管道、设备的清洁度尤为重要,清洗工作量大、控制点多、工作面广,在过程管控中要达到要求,确保洁净度达到预期效果,管理方法和措施是实现预期效果的有力保障。笔者根据项目实践,总结出一套行之有效的管理、检验和过程控制方法,为提高多晶硅项目设备、管道化学清洗的管理提供借鉴。

主 题 词：化学清洗 设备清洗 管道清洗 设备管理 多晶硅生产 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2660.2016.02.014

馆 藏 号：203188143...