用于包衣厚度测量的石英晶体谐振器夹具设计研究

作     者：何高法 任建兵 马霞 HE Gaofa;REN Jianbing;MA Xia

作者机构：重庆科技学院机械与动力工程学院重庆401331 

基　　金：重庆市基础与前沿研究计划项目"复杂工况下薄膜生成厚度实时测量方法研究"(CSTC2013JCYJA70005) 

出 版 物：《重庆科技学院学报（自然科学版）》 (Journal of Chongqing University of Science and Technology：Natural Sciences Edition)

年 卷 期：2016年第18卷第4期

页      码：81-84页

摘      要：为了提高药品包衣厚度测量的准确性,设计了一套晶振片夹具,可实现多方位测量。运用"等效密度法"建立起夹具和晶振片的有限元模型,分析不同夹具宽度对晶振片谐振频率的影响。通过有限元分析,发现夹具宽度对晶振片低阶模态下的谐振频率有较大影响,但随着模态阶数的增大,其影响程度随之下降。搭建实验系统对夹具影响程度进行验证,该夹具对晶振片厚度剪切的高阶振动频率基本无影响,符合包衣厚度测量系统的要求。

主 题 词：石英晶体谐振器 薄膜厚度 夹具 有限元法 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.19406/j.cnki.cqkjxyxbzkb.2016.04.023

馆 藏 号：203188442...