三极板型RFMEMS压控电容的分析与制作

作     者：韦嘉 梁雪冬 刘泽文 李志坚 

作者机构：清华大学微电子所北京100084 

基　　金：国家973资助项目(G1999033105) 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2004年第25卷第Z1期

页      码：422-423页

摘      要：设计并制作了基于硅基的射频微机械压控电容。该电容采用三对极板的传动结构,当两侧控制极板受到静电力驱动时,位于中部的电容极板将得到更大的位移。能量分析和软件模拟表明,该结构有助于提高压控电容的变化比例。测量表明,该电容品质因数为17@2GHz,并具有较大的电容变化比例(大于50%)。该电容工艺简单,实现温度较低(小于350℃),具有与CMOS工艺集成的可行性。

主 题 词：压控电容 射频 微机械 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0254-3087.2004.z1.183

馆 藏 号：203188722...