超薄不锈钢基板CMP抛光头的改进

作     者：袁文强 魏昕 谢小柱 胡伟 无

作者机构：广东工业大学机电工程学院广东广州510006 

基　　金：国家自然科学基金项目(51175092) 教育部高校博士学科专项科研基金项目(20104420110002) 广东省自然科学基金项目(10151009001000036) 广东省科技计划项目促进科技服务业发展专项计划(2010A040203002) 广东省科技计划项目(2011B010600043) 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2016年第9期

页      码：143-146页

摘      要：介绍了化学机械抛光过程中传统的工件夹持方式,针对传统夹持方式在夹持超薄不锈钢基板等柔性工件时存在的缺点,设计了一种新的CMP抛光头,该抛光头采用真空吸盘吸附工件。同时设计了相应的真空气路系统,保证抛光头响应速度和对工件夹持的可靠性。通过ABAQUS软件分析了超薄不锈钢基板在抛光过程中的变形及其与抛光垫之间的接触压力,得到真空吸盘的合理结构。最后采用改进后的抛光头进行不锈钢基板抛光实验,并对比基板抛光前后表面质量验证抛光头的有效性。

主 题 词：化学机械抛光 夹持方式 超薄不锈钢基板 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3997.2016.09.038

馆 藏 号：203188812...