透射式硅基液晶微显示器研制

作     者：杨洪宝 李超 刘凯丽 陈仁军 杨淼 樊卫华 王绪丰 铁斌 

作者机构：国家平板显示工程技术研究中心南京210016 中国电子科技集团公司第五十五研究所南京210016 总参陆航部驻上海地区军事代表室上海200233 

基　　金：总装备部预研管理中心"十二五"预研项目支持 

出 版 物：《光电子技术》 (Optoelectronic Technology)

年 卷 期：2015年第35卷第4期

页      码：217-221页

摘      要：设计并研制了一种单色透射式硅基液晶微显示器,详细论述了透射式硅基液晶微显示器的整个研制工艺流程。为实现透射式结构,驱动背板芯片采用SOI CMOS工艺设计并且流片;使用两次键合的工艺完成了驱动背板芯片硅外延层的剥离和转移,掌握了实现透明背板的关键技术;以此透明背板为驱动基板完成了SXGA单色透射式硅基液晶微显示器的研制。

主 题 词：微显示器 透射式硅基液晶 集成电路外延层剥离与转移 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081001[081001] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-488X.2015.04.001

馆 藏 号：203189035...