SU-8胶光弹性性能显微测试

作     者：褚金奎 李双亮 张然 CHU Jin-kui;LI Shuang-liang;ZHANG Ran

作者机构：大连理工大学机械工程学院辽宁大连116023 

基　　金：国家自然科学基金(No.51175056) 国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2011CB302101) 中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(DUT14RC(3)006) 中国博士后科学基金(2014M561226)资助课题 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2016年第24卷第3期

页      码：547-552页

摘      要：考虑获知SU-8胶的光弹性性能有利于拓展其在微纳米领域中的应用范围,本文设计了材料应力光学系数显微测量光路,完成了SU-8胶应力光学系数的测量实验。首先,基于光弹性原理设计了测量光路,推导了求解应力光学系数的计算公式;然后,根据所设计的光路搭建了应力光学系数显微测量实验装置,在SU-8胶试样光弹性条纹的单个半级数范围内进行了单向拉伸实验;最后,利用Matlab提取实验照片组中光强值信息,得到了不同拉力下透过SU-8胶试样的单色光光强值,计算求解出了SU-8胶的应力光学系数。实验结果以及测量公式计算显示,SU-8胶的应力光学系数为(3.007±0.149)×10–11 m2/N,大于光学玻璃等材料的应力光学系数,也远大于二氧化硅等MEMS领域常用材料的应力光学系数。实验结果可为以SU-8胶为材料,通过光弹性原理进行微力测量的微探针、微夹钳等的设计与制作打下基础。

主 题 词：光学测量 显微测量 光弹性分析 SU-8胶 应力光学系数 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/ope.20162403.0547

馆 藏 号：203189036...