横向压电效应变形镜优化设计

作     者：吴伟彬 戴一帆 关朝亮 范占斌 钟曜宇 Wu Weibin;Dai Yifan;Guan Chaoliang;Fan Zhanbin;Zhong Yaoyu

作者机构：国防科学技术大学机电工程与自动化学院湖南长沙410073 超精密加工技术湖南省重点实验室湖南长沙410073 

基　　金：新世纪优秀人才资助计划(NCET-12-0144) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2016年第45卷第8期

页      码：208-214页

摘      要：变形镜作为自适应光学系统中的关键部件,起到校正波前误差的作用。其中横向压电效应变形镜应用较为广泛,其设计参数对系统的性能有重要影响,因此需要进行优化设计。仿真表明,减小Si镜和PZT的厚度可以提高系统最大变形量,但会降低一阶固有频率。通过正交匹配两者的厚度参数可满足系统的工作要求。夹具的材料和结构参数会影响系统的热变形特性。使用与镜片材料相同的夹具,系统的热变形最小,对高度和壁厚进行优化可以减小甚至消除系统的热变形。最后,通过电压特性仿真得到了优化后变形镜各分立电极的影响函数。

主 题 词：自适应光学 横向压电效应 变形镜 优化设计 仿真 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/irla201645.0818003

馆 藏 号：203189136...