适用无源射频识别标签的集成压力传感器设计

作     者：郭凤鸣 李兵 邓芳明 GUO Fengming;LI Bing;DENG Fangming

作者机构：湖南机电职业技术学院汽车工程学院长沙410151 湖南机电职业技术学院汽车工程学院，长沙410151 合肥工业大学电气与自动化工程学院，合肥230009 合肥工业大学电气与自动化工程学院合肥230009 

基　　金：湖南省科技厅科学计划项目(2014FJ6017) 湖南省教育厅科学研究项目(13C260) 中国博士后基金项目(2014M561820) 

出 版 物：《电子器件》 (Chinese Journal of Electron Devices)

年 卷 期：2016年第39卷第4期

页      码：796-800页

摘      要：针对无源射频识别（RFID）传感器标签发展的需求，采用商业化互补金属氧化物（CMOS）工艺，设计了一种集成电容式压力传感器及其接口电路。集成压力传感器采用金属层M1作为下电极，牺牲的金属层M2作为间隙层，通过过孔连接的金属层M3和M4及其介质构成上电极。传感器接口电路基于锁相环原理，采用全数字结构，将传感器信号转移到频率域处理。后期测试结果显示，所设计的压力传感器线性度高，温度稳定性好，接口电路在1 V电源电压下，只消耗了0.6 mW功率，尤其适用于无源RFID标签的设计。

主 题 词：压力传感器 RFID标签 CMOS工艺 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-9490.2016.04.009

馆 藏 号：203189522...