压电薄膜微致动器的制作和有限元分析

作     者：荆阳 雒建斌 易晓星 黄朋生 JING Yang;LUO Jianbin;YI Xiaoxing;Huang Pengsheng

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室 中国科学院声学研究所北京100080 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(90206022) 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2005年第45卷第5期

页      码：618-621页

摘      要：为实现高密度硬盘驱动器磁头的精确定位,设计和制作了一种与不锈钢基体粘结的压电薄膜微致动器。该致动器中的锆钛酸铅多层膜元件采用溶胶凝胶技术制作而成。对该致动器进行了实验测试和有限元分析。结果表明:当采用双层膜结构时,压电微致动器的位移/驱动电压灵敏度和谐振频率分别达到了1.396μm/±20V和15.13kHz;有限元仿真结果与实测结果基本吻合。

主 题 词：硬盘驱动器 压电微致动器 锆钛酸铅多层膜 双级伺服系统 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0701[理学-数学类] 081201[081201] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1000-0054.2005.05.011

馆 藏 号：203193250...