InGaAs-MSM光电探测器设计与仿真研究

作     者：李勇 李刚 沈洪斌 钟文忠 李亮 Li Yong Li Gang Shen Hongbin Zhong Wenzhong Li Liang

作者机构：河南质量工程职业学院 军械工程学院电子与光学工程系 中国人民解放军61699部队 

基　　金：河北省自然基金资助项目(F2014506004) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2016年第37卷第5期

页      码：651-656页

摘      要：对基于InGaAs材料体系的金属-半导体-金属(metal-semiconductor-metal,MSM)光电探测器进行设计,并对其暗电流、光电流、电容以及截止频率等性能参数进行仿真。通过添加InAlAs肖特基势垒增强层,将探测器的暗电流减小到了pA量级。仿真结果表明,探测器在光照下有明显的光响应,通过合理设计器件结构,探测器的工作频率可以达到1.5THz。制备了探测器样品,并对其暗电流和光响应进行了测试,测试结果与仿真结果基本吻合。

主 题 词：光通信 MSM探测器 肖特基势垒 暗电流 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.5768/JAO201637.0501003

馆 藏 号：203194320...