应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪

作     者：范玉 吴一辉 宣明 张平 周连群 庄须叶 

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 中国科学院研究生院北京100039 

基　　金：国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2007AA042102) 国家863高技术研究发展计划B项目(No.2006AA04Z367) 吉林省科技发展基金资助项目(No.20060335) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2009年第17卷第11期

页      码：2724-2729页

摘      要：为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率阿达玛光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类型选择进行分析。利用MEMS加工技术制作出阿达玛微硅片狭缝阵列,分析了入射狭缝的衍射现象,推导出衍射后的光强分布公式。采用Matlab软件对光强分布进行仿真,搭建了实验测量平台验证仿真结果。结果显示,在相同的条件下,阿达玛S15型狭缝阵列的光通量是阿达玛循环S15型狭缝阵列的1.45倍,推导得出的衍射光强分布公式正确,仿真方法准确,测试方法合理,表明阿达玛S型微硅片狭缝阵列适合本文设计的光谱仪。

主 题 词：阿达玛光谱仪 微硅片狭缝阵列 光通量 阿达玛S型狭缝阵列 阿达玛循环S型狭缝阵列 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

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馆 藏 号：203194845...