基于隧道效应的MEMS陀螺仪的研究

作     者：石云波 张琼 罗源源 刘俊 SHI Yunbo;ZHANG Qiong;LUO Yuanyuan;LIU Jun

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50675212) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2010年第32卷第5期

页      码：750-753页

摘      要：提出了一种高精度、低量程隧道陀螺仪的新结构,分析了其结构及工作原理;对陀螺进行了必要的仿真,仿真结果与理论推导相接近,这样就实现了隧道效应传感器的高灵敏度与哥氏力测量角速度原理的结合。采用体硅工艺设计了陀螺仪版图,并对其进行流片加工。加工完成后,采用HP4156C高精度半导体参数测试仪对传感器的隧道电流效应进行了测试,并验证了其测试结果;同时,对结构进行失效分析。

主 题 词：陀螺仪 设计 加工 隧道电流检测 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2010.05.012

馆 藏 号：203195191...