LED用蓝宝石衬底抛光技术进展

作     者：卓志国 周海 徐晓明 臧跃 ZHUO Zhi-guo;ZHOU Hai;XU Xiao-ming;ZANG Yue

作者机构：常州大学江苏常州213016 盐城工学院江苏盐城224051 江苏大学江苏镇江212013 

基　　金：江苏省自然科学基金项目(BK2008197) 江苏省高校科研成果产业化推进项目(JH10-X048) 江苏省"青蓝工程" 江苏省新型环保重点实验室开放课题基金(AE201120) 江苏省生态环境材料重点建设实验室开放课题资助(EML2012013) 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2013年第4期

页      码：249-251,255页

摘      要：蓝宝石单晶衬底具有优秀的物理化学性质,作为LED的主要衬底材料,其晶片表面质量要求非常高,而加工工艺在很大程度上决定了表面质量。对蓝宝石衬底加工的各种工艺原理作简要介绍,如化学机械抛光、磁流变抛光、浮法抛光等,指出这些加工方法的优缺点、发展进程等。目前蓝宝石衬底的抛光质量已经达到:表面粗糙度0.1nm,平面度0.5μm。随着生产工艺的不断进步,数字化、全自动、绿色无污染的抛光工艺是未来蓝宝石衬底加工的发展方向。

主 题 词：蓝宝石衬底 抛光工艺 化学机械抛光 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3997.2013.04.078

馆 藏 号：203196540...