超高精度离子束抛光工具设计与性能分析

作     者：鹿迎 解旭辉 周林 彭文强 LU Ying;XIE Xuhui;ZHOU Lin;PENG Wenqiang

作者机构：国防科技大学机电工程与自动化学院湖南长沙410073 超精密加工技术湖南省重点实验室湖南长沙410073 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(91323302 61505259) 

出 版 物：《国防科技大学学报》 (Journal of National University of Defense Technology)

年 卷 期：2015年第37卷第6期

页      码：17-20页

摘      要：为了解决高精度光学修形问题,进行离子束抛光工具的设计与性能分析研究。通过开展离子束抛光工具设计方法的研究、聚焦离子光学系统结构设计和离子束流特性的分析,进行计算机仿真研究和中和器一体化设计;研制聚焦离子光学系统和中和器,并采用15mm和10mm的聚焦离子光学系统进行修形加工实验,将口径150mm的熔石英平面镜从初始面形误差RMS15.58nm修正到RMS0.79nm。结果证明了聚焦离子光学系统设计的有效性,一体化离子束抛光工具具有亚纳米精度的修形能力。

主 题 词：离子束修形 聚焦离子光学系统 离子束特性 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.11887/j.cn.201506004

馆 藏 号：203197669...