自动椭偏仪测试技术

作     者：沈文江 

作者机构：上海铁道学院 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：1985年第6卷第1期

页      码：8-13页

摘      要：用计算机控制的椭偏仪可以用于薄膜光学测试的广泛领域,特别适用于跟踪阳极薄膜生长,测试它们的电光效应和电致伸缩效应。本文针对单轴非吸收薄膜(如Ta_2O_5、Nb_2O_5、W_2O_5等)情况,叙述系统结构,椭偏仪校准,阳极化容器设计,窗口误差校正,以及动态测试步骤。

主 题 词：椭偏仪 薄膜光学 检偏器 电致伸缩效应 薄膜生长 波片 容器设计 起偏器 偏振状态 用计算机控制 

学科分类：081203[081203] 08[工学] 0835[0835] 0812[工学-测绘类] 

D　O　I：10.19650/j.cnki.cjsi.1985.01.002

馆 藏 号：203197849...