筒镜分析器最佳工作参数的实验测试

作     者：王钤 耿德忠 陈广禄 

作者机构：复旦大学 中国科学院沈阳科学仪器厂 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：1985年第6卷第1期

页      码：22-27页

摘      要：利用筒镜分析器(CMA)固有的S形象差曲线求得最佳工作参数来设计CMA,可以显著地减小角度象差而大大提高俄歇电子能谱仪(AES)的性能。本文叙述用这一新方法设计的CMA的结构尺寸和测试结果,并与原按二级聚焦法设计的CMA的性能进行了比较。

主 题 词：筒镜分析器 最佳工作参数 象差 电子能量分析器 能量分辨率 俄歇电子能谱仪 透过率 电子束直径 象点 电极位置 

学科分类：081704[081704] 07[理学] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 070302[070302] 0703[理学-化学类] 

D　O　I：10.19650/j.cnki.cjsi.1985.01.004

馆 藏 号：203199268...